上海交通大学微纳科学技术研究院系学校直属研究院，是专门从事微米纳米科学与技术基础和应用基础研究，以原创性成果和经济建设为目标，开展以非硅微细加工与微机电系统（MEMS）、纳米生物医学、纳米电子学与器件的制造技术为主要研究方向的多学科研究平台。学科交叉明显，研究条件，具有较强的科技攻关和较高的学术水平。目前设有“微电子学与固体电子学”和“纳米材料科学与工程”博士点，“微电子学与固体电子学”硕士点，招收和培养来自不同学科的硕士、博士、博士后，设有“薄膜与微细技术”教育部实验室、“微米纳米加工技术”实验室。是学校“211”一期、“211”二期、“985”一期投资建设单位之一。