检漏仪维修 德国莱宝检漏仪维修

检漏仪维修  德国莱宝检漏仪维修

德国莱宝检漏仪PhoeniXL 300维护保养项目

项目                       周期

吹洗粉尘过滤棉        1000小时/按需

更换前级泵油           2000小时/按需

更换过滤器              4000小时/按需

检修阀门、离子源、前级泵、分子泵    3-5年/按需(大保养）

清洁/更换粉尘过滤棉

1、过滤棉目的要隔绝空气中的杂尘进入设备内部。要保持过滤器不阻碍气流及保持冷却的效果，所以当过滤棉呈现暗灰色时要清洁或更换。

2、过滤棉在Turbo  pump 的风扇前段。

3、更换/清洁过滤棉要依前面所指示打开前盖。