对位精度:±10µm
解析度高:0.075
曝光定位:8CCD定位
生产效率:绿油、黄油、白油、蓝油3S/面,黑油5-6S/面
光源能量:≥93%
基板厚度:0.6-3mm(可定制)
菲林尺寸:660*720mm
基板尺寸:Max:650*750mm Min:300*300mm
对位精度:±10µm
解析度高:0.075
曝光定位:8CCD定位
生产效率:绿油、黄油、白油、蓝油3S/面,黑油5-6S/面
光源能量:≥93%
基板厚度:0.6-3mm(可定制)
菲林尺寸:660*720mm
基板尺寸:Max:650*750mm Min:300*300mm