对位精度:±5µm
解析度高:2-5µm
曝光定位:4CCD定位
生产效率:5-6S/面
光源能量:≥93%
基板厚度:≤1mm(片料);≤10mm(颗粒)
基板尺寸:≤L132mm*W125mm(片料);20mm*10mm(颗粒);10mm*5mm(颗粒)
适用行业:陶瓷基板曝光
对位精度:±5µm
解析度高:2-5µm
曝光定位:4CCD定位
生产效率:5-6S/面
光源能量:≥93%
基板厚度:≤1mm(片料);≤10mm(颗粒)
基板尺寸:≤L132mm*W125mm(片料);20mm*10mm(颗粒);10mm*5mm(颗粒)
适用行业:陶瓷基板曝光